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半导体有机废气怎么处理?半导体废气治理有哪些好办法?

2022/5/23 9:43:29 / 作者:废气处理设备公司 / 来源:山艺环保

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。半导体有机废气怎么处理?半导体废气治理有哪些好办法?下面为您做简单介绍:

半导体有机废气怎么处理?半导体废气治理有哪些好办法?

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水,净化废气,并回收废气分解时所释放出来的热量,废气分解效率达到99%以上,热回收效率达到95%以上。


直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉(TO)→烟囱排气达标排放。

以上就是《半导体有机废气怎么处理?半导体废气治理有哪些好办法?》的全部内容,山艺环保专注半导体废气处理13年,至今服务于中芯国际、中芯北方、中芯南方、中芯绍兴、集电控股、积塔、有研、华虹、燕东微电子等半导体企业,中芯系覆盖70%以上,拥有众多半导体废气治理案例!如您有半导体废气处理需求,即刻联系我们吧!


 

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